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系統的傳輸線脈沖(TLP)測試和分析功能符合 ANSI/ESD STM5.5.1-2014 測試標準。ES620系統能夠向器件注入高質量矩形波脈沖,同時記錄流經器件的電流和器件兩端電壓。測試結果能夠提供脈沖式IV曲線,使用戶能夠表征器件在納秒級的瞬態響應。系統還具有*的器件失效自動化檢測方法,例如漏電流測試,靜態IV曲線,熔斷和火花放電。
超快TLP (vf-TLP) 測試和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007測試標準。vf-TLP 測試用于模擬CDM速度的靜電放電,捕捉高速(大約100 ps 上升沿)狀態下器件的電流和電壓。用戶可以通過這種方法測試器件的響應速度和峰值電壓。
人體金屬模型(HMM) 測試和分析功能符合 ANSI/ESD SP5. 6-2009 測試方法,該方法可替代IEC61000-4-2 中系統級ESD測試方法,用于測試 IC。當測試低阻抗器件或者晶圓時,系統的該測試功能可以提供符合IEC61000-4-2標準的理想波形,并且避免許多靜電放電槍測試時可能出現的問題,例如可重復性差,放電位置不對,由未屏蔽繼電器產生的EMI互擾,需要設置大接地平板和耦合板。
系統有完整的軟件控制,可定制上升沿時間和脈沖寬度,與IVI儀器有良好的兼容性,體積小。
TLP 傳輸線脈沖測試系統特點:
配置靈活的TLP IV曲線脈沖測試分析系統
超便攜設計
超快測試速度,程序并行處理
目前測試版本有 25 A, 50 A,和100 A 模塊
高質量TLP脈沖
可擴展的測試模塊包括 vf-TLP, HMM, HBM, 和低壓浪涌
自動化故障檢測方法包括:
DC 抽查 (電壓或電流), 靜態IV, 熔融, 擊穿, 偏置源波動, 以及客戶自定義
軟件控制的脈沖注入: 單次, 連續, IV-曲線表征
上升沿選項:60 ps 至 50 ns *(取決于模塊)
脈沖寬度選項: 1 ns 至 3200 ns *(取決于模塊)
TLP 傳輸線脈沖測試系統應用:
晶圓級ESD測試
PCB/封裝級ESD測試
系統/電路 ESD 測試
安全工作區 (SOA) 測試
充電恢復時間測試
差分ESD脈沖注入
觸摸屏ITO微帶線熔斷測試
觸摸屏ITO微帶線火花放電測試
TLP注入電流脈沖符合并超過ANSI/ESD STM 5.5.1-2008標準
vf-TLP注入電流脈沖符合并超過ANSI/ESD SP5.5.2-2007標準
對于低阻抗器件,HMM的注入電流脈沖與 IEC61000-4-2 波形相符
規格:
ES620 基于傳輸線脈沖的 IV-曲線測試系統
參量 | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 單位 | 備注 |
開路輸出電壓 | ± 0.5 ~ 1250 | ± 0.5 ~ 2500 | ± 0.5 ~ 5000 | V | |
50 ?負載時,輸出電壓 | ± 0.25 – 625 | ± 0.5 ~ 1250 | ± 0.5 ~ 2500 | V | |
50 ?負載時,小電壓步長 低電壓 – 40 V | 0.01 | 0.01 | 0.02 | V | 帶 46 dB 反射抑制 |
50 ?負載時,小電壓步長 40V 至 高電壓 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | V | 帶6 dB 反射抑制 |
輸出電壓誤差 | < 5 % | % | 自校準后 | ||
短路輸出電流 | ± 0.01 ~ 25 | ± 0.02 ~ 50 | ± 0.04 ~ 100 | A | |
50 ?負載時,輸出電流 | ± 0.005 ~ 12.5 | ± 0.01 ~ 25 | ± 0.02 ~ 50 | A | |
50 ?負載時,峰值功率 | ≥ 7.813 | ≥ 31.25 | ≥ 125 | kW | |
自帶TLP上升沿時間 | ≤ 0.2 | ≤ 0.2 | ≤ 0.3 | ns | ES620-25可達 60 ps |
其他上升沿時間選項 | 0.06 ~ 50 | ns | 與模型有關,請看表2 | ||
自帶TLP 脈沖寬度 | 100 ± 1 | ns | 自定義 | ||
其他脈寬選項 | 1 ~ 3200 | 5 ~ 1000 | 5 ~ 1000 | ns | 與模型有關,請看表3 |
測試間隔時間 | 一般為0.2 ~ 2 | s | 與示波器,SMU和規定有關 | ||
尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm | |||
重量 | 5 | 6 | 8 | kg | |
I &V 直接測量 | I &V 直接測量探頭A6213-T1 (CT-2電流探頭 和 1K T型電壓探頭) | ||||
可配用示波器 | Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的大部分型號 | 其他型號可根據客戶需求進行匹配支持 | |||
可配用SMU | Keithley 24xx/26xx系列 SMU | 其他型號可根據客戶需求進行匹配支持 |
ES620-HMM1 擴展的人體金屬模型模塊
(DUT為短路, 100 ? HMM ,基于ANSI/ESD SP5.6-2009標準)
參數 | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 單位 | 備注 |
HMM 峰值電流 | 22.5 | 45 | 90 | A | 每千伏3.75 A ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF) |
30 ns時的HMM 電流 | 12 | 24 | 48 | A | ≤ ± 10 % (優于IEC 的±30% ) |
60 ns時的HMM 電流 | 6 | 12 | 24 | A | ≤ ± 10 % (優于IEC的 ±30% ) |
ES620-HBM1 擴展的人體模型模塊
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2014 R=1.5 k?, C=100 pF)
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